光纤光谱仪,积分球,均匀光源,太赫兹系统

2010.6.4 海洋光学光纤光谱仪应用:薄膜测量

概要
附着在基底上的薄膜就如同一个标准具，当观察其表面的反射率时会看到一幅干涉条纹图样。当组合不同折射率的材料时，条纹间隔的正弦曲线分布可以用来计算此薄膜的厚度。

光谱仪
USB4000-VIS-NIR (350-1000 nm)适合用于薄膜的反射测量。光谱仪预先配置了#3光栅，它的闪耀波长在500nm；一个OFLV-350-1000滤光片可以屏蔽二级和三级衍射效应；以及一个25μm 狭缝，可以得到~1.5 nm (FWHM)的光学分辨率。

取样光学元件

测量

从我们的操作软件中可以观察到由薄膜基底的膜层产生的干涉光谱。分析大值和小值处的波长可以确定薄膜的厚度（已知薄膜的折射率）或者确定它的折射率（已知薄膜的厚度）。需要注意的是，样本的厚度可能不是均匀的；我们建议测量薄膜的多个位置点。

薄膜厚度

新泽西Salt Point公司开发的薄膜监测系统（TDS），在宽带溶解率监测仪（DRM）中集成了一套海洋光学多通道光谱仪，用来分析半导体和光学工业中使用的超薄的抗蚀膜。

DRM帮助客户确定膜层的厚度以及应用抗蚀膜后的材料溶解速率——这都是控制薄膜生产工艺的重要参数。在初始化测试中，薄膜监测解决方案主要针对膜厚<300 nm的应用，相对而言，传统的单色和多色干涉测量方法在该测量应用中的效果较差。在测试中，TDS采用了一个SD2000双通道光谱仪，通过一个R系列反射探头来实现反射式测量。TDS在其网站上的报告中的结果显示了多波长DRM系统能够在离散的时间间隔内测定薄膜厚度，传统的DRM系统要监测光阻材料比较困难，并且，通过免去了对离散的静态的光学厚度测量工具的需求，也给研究者提供了相应附加值。

配置

1. USB4000-UV-VIS 通用实验室光谱仪
#1光栅, 波长范围200-850 nm
25 μm 狭缝作为入射孔径
OFLV-200-850 消除衍射滤光片
2. DH2000-BAL 氘－卤钨组合光源
3. R400-7-UV-VIS 反射探头
4. RPH-1 反射探头支架
5. SpectraSuite 光谱仪控制软件
6. ASP 一年服务包

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